以光学技术为核心的智能装备企业！
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产品

以光学技术为核心的智能装备企业！

晶 圆 切 割 道 缺 陷 AOl 检 测 设 备

晶圆切割道检测案列.jpg

  • 产品特点
  • 规格参数

1、高分辨率显微镜光学系统

2、明场暗场光学检测；兼容双面快速检测

3、高精度XYR精密平台

4、Magazine 上料方式；MAPPING图输出

5、可拓展3D测量模块，红外测量模块






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